是铜吧!
熔丝广泛用于大规模集成电路(LSI)器件,包括存储器修补和稳压电路的冗余电路*1。熔丝是这类器件的一种重要构成技术。过往,都是采用激光切断等技术来切断熔丝。不过最近几年,采用电流切断的电子熔丝的开发工作获得了进展。一般地说,电子熔丝具有以下的特性。
a)熔丝能够在成型后切断,进而有助于实现更高的产量。
b)无需使用激光微调系统,可以有效地控制设备的投资本钱。此外,一种类型的电子熔丝,也就是铜熔丝,可以使用制造工艺中常用类型的铜布线工艺。除了上述的上风外,还具备以下的上风。
c)无需在生产线上增加额外的工序,有助于控制本钱。
d)铜布线可以继续用于未来的超精细制造工艺,因此,在引进新的超精细工艺时可以降低开发本钱。
不过,切断铜熔丝的电流技术还存在以下题目。
(A)低介电系数材料是一种易碎材料,熔丝上可能发生开裂。
(B)铜可能***进进裂缝中,导致熔丝区域出现空隙。
(C)假如熔丝是在这种条件下切断,如上所述,裂缝中的铜就会使布线短路。这种熔丝区域上的布线线迹的连接是不能容忍的。
这个题目成为了进一步缩小芯片尺寸的障碍。因此,在努力实现更加精细的制造工艺时,找到防止低介电系数材料开裂的方法就成为了一个重要的课题。
来源: 作者:
标签:材料
上一篇专家观点:3月06日手绘墙画用水彩或水粉可以吗?
下一篇专家观点:3月06日地板的安全性?